Kao što svi znamo, postoji samo jedan proizvođač na svijetu koji može proizvesti EUV litografiju, a to je nizozemski ASML.
A razlog zašto je jedini na svijetu, to je zato što će ASML biti puno ključnih proizvođača povezanih zajedno, kao što je njemačka optička tvrtka Zeiss (Zeiss), a zatim Cymer iz Sjedinjenih Država, a zatim njemačka Tom Fast Group (TRUMPF ) i tako dalje.
ASML je povezao ove proizvođače sa svojom kočijom kroz ulaganja, akvizicije, dioničarstvo, osnivanje istraživačkih centara i tako dalje, a ti proizvođači, vjerojatno jedini proizvođači na svijetu koji mogu proizvesti te proizvode, tako da je u konačnici samo ASML u stanju proizvesti EUV litografiju u svijetu.
Međutim, nedavno je ključni lanac opskrbe ASML-a otišao u Shenzhen u Kini kako bi izgradio tvornicu, a njegova podružnica u Shenzhenu smjestila se u kinesko-njemačkom (europskom) industrijskom demonstracijskom parku Baoan.
Ovaj proizvođač je njemačka Tom Fast Group (TRUMPF), to je ASML-ova EUV litografija, jedini dobavljač laserskih izvora na svijetu.
TRUMPF proizvodi u EUV litografiji, koliko su važni? Prvo, dopustite mi da objasnim princip EUV litografije, razumjet ćete.
Načelo EUV litografije, pojednostavljeno rečeno, usredotočeno je na tri glavna sustava, EUV UV sustav izvora svjetlosti, sustav leća objektiva i sustav stolova.
Specifičan postupak je korištenje lasera za pobuđivanje valne duljine od 13,5 nm ekstremnog ultraljubičastog svjetla, a zatim nakon korekcije za formiranje kontrolirane zrake svjetlosti, a zatim se ta zraka svjetlosti projicira na stol fotomaske, a zatim projicira kroz objektiv zrcalo na stol za ekspoziciju i konačno urezao strujni krug na silikonsku pločicu presvučenu fotorezistom.
Kako se dobiva jedan od EUV UV sustava izvora svjetlosti bombardiranjem kapljice metala kositra (Sn) s CO2 laserom snage 30 kW, isparavanjem u plazmu i konačno dobivanjem EUV svjetlosti valne duljine 13,5 nm.
Ovaj CO2 laser snage 30 kW proizvodi TRUMPF, jedini takve vrste u svijetu.
Ne podcjenjujte ovaj CO2 laser, ima 457.329 dijelova, duljina kabela u sustavu je do 7.322 metra, a težina 17.090 kg, što je jedna od najvažnijih jezgrenih komponenti u EUV litografiji.
Sada je TRUMPF otrčao u Kinu da izgradi tvornicu, namjera je jasna, to jest, optimističan u pogledu kineskog tržišta lasera, i još dugoročniji pogled, optimističan u pogledu kineskog tržišta litografije, budućnost bi mogla surađivati s Kinom u izgradnji EUV litografije .
Zapravo, već postoji više od jednog lanca opskrbe ASML-a koji ide u Kinu radi izgradnje tvornice, prije nego što postoje KMWE i drugi proizvođači, također u Kinu radi izgradnje tvornice.
Prema trenutnom trendu, možemo optimistično očekivati da ne može proći dugo prije nego što će kineska tehnologija litografije biti veliki korak naprijed, pa čak i volumen izlazne EUV litografije, također se može veseliti, što mislite?
